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CMOS集成化MEMS振蕩器 成本競爭力趕超水晶

來源:www.41001.cn 點擊: 發布時間:2008/5/4 20:05:32
在與4月25日閉幕的“2008日本傳感器綜合展(SENSOR EXPO JAPAN 2008)”并設的“2008傳感器·執行器·微機械綜合討論會”上,美國SiTime的日本代理商就SiTime的MEMS振蕩器(硅振蕩器)發表演講,就其相對于現有水晶振蕩器的優越性進行了介紹。

  演講人向中野 浩志(Macnica產品企劃部部長)表示,在成本方面,MEMS振蕩器優于水晶振蕩器。在使用晶體底板尺寸較大的硅時,加工所需的掩膜數量不到10張。考慮到通用CMOS LSI需要20張以上的掩膜,MEMS振蕩器的成本競爭力較高。并且,向中野還通過與已上市的水晶振蕩器的配置進行對比,用具體數值強調了MEMS振蕩器在性能和成本上的優勢。

  SiTime的MEMS振蕩器原可以發揮比現在更大的成本競爭力。這是因為,MEMS部分(振子)和溫度校正所需的周邊電路可以實現單芯片化。利用該公司擁有的技術,能夠把作為可動部分的振子在CMOS的前工序中密閉,然后形成CMOS電路。無需經過焊接和引線鍵合等安裝工序,即可使MEMS部分和CMOS部分實現單芯片化。

  但是,在現在供應的產品中,MEMS部分和CMOS部分作為單獨芯片制造,分別通過引線鍵合連接。兩個芯片無法合一的原因在于二者接近后存在干擾。就此,向中野表示,“怎樣使MEMS部分和CMOS部分能夠接近”,并作為單芯片產品投產,將是今后需要解決的課題。
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